Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Angewandte Materialien - Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IAM-ZBS) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-0-8194-8458-1 KITopen-ID: 1000034711 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Erschienen in | Laser-based micro- and nanopackaging and assembly V, San Francisco, California, United States, 25 - 27 January 2011. Ed.: W. Pfleging |
Veranstaltung | Laser-based micro- and nanopackaging and assembly V (2011), San Francisco, CA, USA, 25.01.2011 – 27.01.2011 |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | 792108/1-8 |
Serie | Proceedings of SPIE ; 7921 |