Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2013 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-0-8194-9382-8 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000036806 |
HGF-Programm | 43.14.04 (POF II, LK 01) Teratronics |
Erschienen in | Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics VI, San Francisco, CA, February 5-6, 2013. Ed.: G. von Freymann |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | Article no 86130W |
Serie | Proceedings of SPIE ; 8613 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |