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Supporting Microsystem Technology Design through provision of Experience

Albers, A; Turki, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktentwicklung (IPEK)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 1000036873
Erschienen in 9th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology (HARMST'11), Hsin-chu, Taiwan, June 12-18, 2011
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