Supporting Microsystem Technology Design through provision of Experience
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktentwicklung (IPEK) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000036873 |
| Erschienen in | 9th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology (HARMST'11), Hsin-chu, Taiwan, June 12-18, 2011 |