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Superconducting Multilayer Technology for Josephson Devices : Technology, Engineering, Physics, Applications

Meckbach, Johannes Maximilian

Abstract:
Within this book fabrication processes for high-quality Josephson junctions based on niobium and aluminum oxide as well as niobium nitride and aluminum nitride on various substrates are discussed. Techniques for achieving a planar chip topography and sub-µm lateral dimensions, aiding the realization of sophisticated Josephson devices such as SQUIDs, flux-flow oscillators and long Josephson junctions with artificial phase discontinuities, are presented in detail.

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DOI: 10.5445/KSP/1000036875
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-7315-0122-0
ISSN: 1869-1765
urn:nbn:de:0072-368759
KITopen-ID: 1000036875
Verlag KIT Scientific Publishing, Karlsruhe
Umfang XIII, 175 S.
Serie Karlsruher Schriftenreihe zur Supraleitung / Hrsg. Prof. Dr.-Ing. M. Noe, Prof. Dr. rer. nat. M. Siegel ; 13
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (ETIT)
Institut Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Prüfungsdaten 24.09.2013
Referent/Betreuer Prof. M. Siegel
Schlagworte Superconductor, Josephson, Quantum, Multilayer, Cryogenics
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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