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Three-dimensional optical laser lithography beyond the diffraction limit

Fischer, Joachim; Wegener, Martin

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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/lpor.201100046
Scopus
Zitationen: 263
Web of Science
Zitationen: 237
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Physik (APH)
Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1863-8880, 1863-8899
KITopen-ID: 1000038650
HGF-Programm 43.14.01 (POF II, LK 01)
Erschienen in Laser & photonics reviews
Band 7
Heft 1
Seiten 22-44
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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