Three-dimensional optical laser lithography beyond the diffraction limit
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1863-8880, 1863-8899 KITopen-ID: 1000038650 |
| HGF-Programm | 43.14.01 (POF II, LK 01) Photonics crystals and metamaterials |
| Erschienen in | Laser & photonics reviews |
| Verlag | Wiley-VCH Verlag |
| Band | 7 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 22-44 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |