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Three-dimensional optical laser lithography beyond the diffraction limit

Fischer, Joachim; Wegener, Martin


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/lpor.201100046
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Zitationen: 411
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Zitationen: 376
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Zitationen: 446
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Physik (APH)
Institut für Nanotechnologie (INT)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1863-8880, 1863-8899
KITopen-ID: 1000038650
HGF-Programm 43.14.01 (POF II, LK 01) Photonics crystals and metamaterials
Erschienen in Laser & photonics reviews
Verlag Wiley-VCH Verlag
Band 7
Heft 1
Seiten 22-44
Nachgewiesen in Dimensions
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