Design and maskless fabrication of ultrathin suspended membranes of GaN
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM) Universität Karlsruhe (TH) – Zentrale Einrichtungen (Zentrale Einrichtungen) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1862-6254 KITopen-ID: 1000039557 |
| Erschienen in | Physica Status Solidi - Rapid Research Letters |
| Verlag | John Wiley and Sons |
| Band | 6 |
| Heft | 4 |
| Seiten | 148-150 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions OpenAlex Scopus |