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Design and maskless fabrication of ultrathin suspended membranes of GaN

Tiginyanu, I.M.; Popa, V.; Stevens-Kalceff, M.A.; Gerthsen, D.; Brenner, P.; Pavlidis, D.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/pssr.201206020
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seit 27.04.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1862-6254
KITopen-ID: 1000039557
Erschienen in Physica Status Solidi - Rapid Research Letters
Band 6
Heft 4
Seiten 148-150
Nachgewiesen in Scopus
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