Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2012 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-953-307-906-6 urn:nbn:de:swb:90-395638 KITopen-ID: 1000039563 |
HGF-Programm | 43.13.03 (POF II, LK 01) Micro chemical engineering |
Erschienen in | Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures. Ed.: M. Kahrizi |
Verlag | InTech |
Seiten | 159-182 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds |
Externe Relationen | Abstract/Volltext |
Nachgewiesen in | Dimensions |