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Planar positioning stage for micro machining

Bauer, J. 1; Kern, D. 2; Ayhan, S. 3; Scherr, S. 3; Fleischer, J. 1; Seemann, W. 2; Zwick, T. 3
1 Institut für Produktionstechnik (WBK), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Technische Mechanik (ITM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Institut für Hochfrequenztechnik und Elektronik (IHE), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Hochfrequenztechnik und Elektronik (IHE)
Institut für Produktionstechnik (WBK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0944-6524
KITopen-ID: 1000039834
Erschienen in Production Engineering
Verlag Wissenschaftliche Gesellschaft für Produktionstechnik e.V. (WGP)
Band 7
Heft 5
Seiten 511-516
Nachgewiesen in Dimensions
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OpenAlex
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung Ziel 7 – Bezahlbare und saubere EnergieZiel 9 – Industrie, Innovation und Infrastruktur

Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s11740-013-0474-2
Scopus
Zitationen: 10
Dimensions
Zitationen: 10
Seitenaufrufe: 127
seit 22.05.2018
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