Planar positioning stage for micro machining
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Hochfrequenztechnik und Elektronik (IHE) Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0944-6524 KITopen-ID: 1000039834 |
| Erschienen in | Production Engineering |
| Verlag | Wissenschaftliche Gesellschaft für Produktionstechnik e.V. (WGP) |
| Band | 7 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 511-516 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |