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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s11740-013-0474-2
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Zitationen: 9

Planar positioning stage for micro machining

Bauer, J.; Kern, D.; Ayhan, S.; Scherr, S.; Fleischer, J.; Seemann, W.; Zwick, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Hochfrequenztechnik und Elektronik (IHE)
Institut für Produktionstechnik (WBK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0944-6524
KITopen ID: 1000039834
Erschienen in Production Engineering
Band 7
Heft 5
Seiten 511-516
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