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Planar positioning stage for micro machining

Bauer, J. 1; Kern, D. 2; Ayhan, S. 3; Scherr, S. 3; Fleischer, J. 1; Seemann, W. 2; Zwick, T. 3
1 Institut für Produktionstechnik (WBK), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Technische Mechanik (ITM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Institut für Hochfrequenztechnik und Elektronik (IHE), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s11740-013-0474-2
Scopus
Zitationen: 10
Dimensions
Zitationen: 10
BibTeX (UTF-8) BibTeX (ASCII) EndNote/Refer (.enw) RIS CSL-JSON ISI
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Hochfrequenztechnik und Elektronik (IHE)
Institut für Produktionstechnik (WBK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0944-6524
KITopen-ID: 1000039834
Erschienen in Production Engineering
Verlag Wissenschaftliche Gesellschaft für Produktionstechnik e.V. (WGP)
Band 7
Heft 5
Seiten 511-516
Nachgewiesen in Dimensions
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