Shape memory alloy microvalves for a fluidic control system
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0960-1317 KITopen-ID: 1000040435 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 24 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 025001/1-10 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |