Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2014 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0960-1317 KITopen-ID: 1000040438 |
HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 24 |
Heft | 5 |
Seiten | 055007/1-11 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |