Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2013 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1057-7157, 1941-0158 KITopen-ID: 1000040444 |
HGF-Programm | 47.01.03 (POF II, LK 01) Biologische Schlüselmoleküle IMT |
Erschienen in | Journal of microelectromechanical systems |
Verlag | IEEE Electron Devices Society |
Band | 22 |
Heft | 2 |
Seiten | 462-470 |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |