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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0960-1317/23/2/025018
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Fabrication techniques for multiscale 3D-MEMS with vertical metal micro- and nanowire integration

Greiner, F.; Quednau, S.; Dassinger, F.; Sarwar, R.; Schlaak, H.F.; Guttmann, M.; Meyer, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0960-1317, 1361-6439
KITopen ID: 1000040449
HGF-Programm 43.12.03; LK 01
Erschienen in Journal of micromechanics and microengineering
Band 23
Heft 2
Seiten 025018/1-12
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