Fabrication techniques for multiscale 3D-MEMS with vertical metal micro- and nanowire integration
Greiner, F.; Quednau, S.; Dassinger, F.; Sarwar, R.; Schlaak, H. F.; Guttmann, M.
1; Meyer, P.
1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Meyer, P.
11 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen-ID: 1000040449 |
| HGF-Programm | 43.12.03 (POF II, LK 01) Reliability of nanomaterials |
| Erschienen in | Journal of micromechanics and microengineering |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 23 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 025018/1-12 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science OpenAlex |