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Microwave performance of photoresist-alumina microcomposites for batch fabrication of thick polymer-based dielectric structures

Rashidian, A.; Klymyshyn, D.M.; Aligodarz, M.T.; Boerner, M.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0960-1317
KITopen ID: 1000040859
HGF-Programm 43.13.01; LK 01
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 22
Heft 10
Seiten 105002/1-9
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