Microwave performance of photoresist-alumina microcomposites for batch fabrication of thick polymer-based dielectric structures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0960-1317 KITopen-ID: 1000040859 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 22 |
| Heft | 10 |
| Seiten | 105002/1-9 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions OpenAlex Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |