Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2013 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen-ID: 1000040860 |
HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
Erschienen in | Journal of micromechanics and microengineering |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 23 |
Heft | 10 |
Seiten | 105014/1-7 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |