Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Jahr | 2013 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen ID: 1000040860 |
HGF-Programm | 43.12.01; LK 01 |
Erschienen in | Journal of micromechanics and microengineering |
Band | 23 |
Heft | 10 |
Seiten | 105014/1-7 |