Hot pulling and embossing of hierarchical nano- and micro-structures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Jahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen ID: 1000040860 |
| HGF-Programm | 43.12.01; LK 01 |
| Erschienen in | Journal of micromechanics and microengineering |
| Band | 23 |
| Heft | 10 |
| Seiten | 105014/1-7 |