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Hot pulling and embossing of hierarchical nano- and micro-structures

Röhrig, M.; Schneider, M.; Etienne, G.; Oulhadj, F.; Pfannes, F.; Kolew, A.; Worgull, M.; Hölscher, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0960-1317, 1361-6439
KITopen ID: 1000040860
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erschienen in Journal of micromechanics and microengineering
Band 23
Heft 10
Seiten 105014/1-7
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