Fabrication of two-dimensional hard X-ray diffraction gratings
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 1000040861 |
| HGF-Programm | 43.14.02 (POF II, LK 01) X-Ray-Optics |
| Erschienen in | Microelectronic engineering |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 101 |
| Seiten | 12-16 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |