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Fabrication of two-dimensional hard X-ray diffraction gratings

Rutishauser, S.; Bednarzik, M.; Zanette, I.; Weitkamp, T.; Börner, M.; Mohr, J.; David, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0167-9317, 1873-5568
KITopen ID: 1000040861
HGF-Programm 43.14.02; LK 01
Erschienen in Microelectronic engineering
Band 101
Seiten 12-16
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