KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Fabrication of two-dimensional hard X-ray diffraction gratings

Rutishauser, S.; Bednarzik, M.; Zanette, I.; Weitkamp, T.; Börner, M.; Mohr, J.; David, C.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.mee.2012.08.025
Scopus
Zitationen: 29
Web of Science
Zitationen: 25
Seitenaufrufe: 21
seit 22.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0167-9317, 1873-5568
KITopen-ID: 1000040861
HGF-Programm 43.14.02 (POF II, LK 01)
Erschienen in Microelectronic engineering
Band 101
Seiten 12-16
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page