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Self-sensing atomic force microscopy cantilevers based on tunnel magnetoresistance sensors

Tavassolizadeh, A.; Meier, T.; Rott, K.; Reiss, G.; Quandt, E.; Hölscher, H.; Meyners, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0003-6951, 1077-3118
KITopen ID: 1000040863
HGF-Programm 43.16.02; LK 02
Erschienen in Applied physics letters
Band 102
Heft 15
Seiten 153104/1-4
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