A bistable shape memory alloy microvalve with magnetostatic latches
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1057-7157 KITopen-ID: 1000040896 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Journal of Microelectromechanical Systems |
| Verlag | IEEE Electron Devices Society |
| Band | 21 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 76-84 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |