Development of Ni-based superalloys for microelectromechanical systems
Burns, D. E.; Zhang, Y.; Teutsch, M. 1; Bade, K.
2; Aktaa, J. 1; Hemker, K. J.
1 Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2; Aktaa, J. 1; Hemker, K. J.1 Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1359-6462 KITopen-ID: 1000040897 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Scripta Materialia |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 67 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 459-462 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions OpenAlex |