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Highly precise micro-retroreflector array fabricated by the LIGA process and its application as tapped delay line filter

Bohling, M.; Seiler, T.; Wdowiak, B.; Jahns, J.; Mohr, J.; Börner, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0003-6935
KITopen ID: 1000040898
HGF-Programm 43.14.02; LK 02
Erschienen in Applied Optics
Band 51
Heft 25
Seiten 5989-5995
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