| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000040906 |
| HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 18 |
| Heft | 11 |
| Seiten | 1857-1861 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Web of Science Scopus |