Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2012 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000040906 |
HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Verlag | Springer |
Band | 18 |
Heft | 11 |
Seiten | 1857-1861 |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |