Deposition of ultrathin parylene C films in the range of 18 nm to 142 nm: Controlling the layer thickness and assessing the closeness of the deposited films
Rapp, B. E. 1; Voigt, A. 1; Dirschka, M. 1; Länge, K.
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1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
11 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0040-6090 KITopen-ID: 1000040915 |
| HGF-Programm | 47.01.03 (POF II, LK 01) Biologische Schlüselmoleküle IMT |
| Erschienen in | Thin Solid Films |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 520 |
| Heft | 15 |
| Seiten | 4884-4888 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions OpenAlex |