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Deposition of ultrathin parylene C films in the range of 18 nm to 142 nm: Controlling the layer thickness and assessing the closeness of the deposited films

Rapp, B.E.; Voigt, A.; Dirschka, M.; Länge, K.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.tsf.2012.03.035
Scopus
Zitationen: 13
Web of Science
Zitationen: 12
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0040-6090
KITopen-ID: 1000040915
HGF-Programm 47.01.03 (POF II, LK 01)
Erschienen in Thin Solid Films
Band 520
Heft 15
Seiten 4884-4888
Nachgewiesen in Web of Science
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