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Deposition of ultrathin parylene C films in the range of 18 nm to 142 nm: Controlling the layer thickness and assessing the closeness of the deposited films

Rapp, B.E.; Voigt, A.; Dirschka, M.; Länge, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0040-6090
KITopen ID: 1000040915
HGF-Programm 47.01.03; LK 01
Erschienen in Thin Solid Films
Band 520
Heft 15
Seiten 4884-4888
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