| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0167-9317 KITopen-ID: 1000040917 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Microelectronic Engineering |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 98 |
| Seiten | 536-539 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |