Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2012 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0167-9317 KITopen-ID: 1000040917 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Erschienen in | Microelectronic Engineering |
Verlag | Elsevier |
Band | 98 |
Seiten | 536-539 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |