| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3555-6 KITopen-ID: 1000041401 |
| Erschienen in | Von Bauelementen zu Systemen : Mikrosystemtechnik Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen : Proceedings. Hrsg.: W. Mokwa |
| Verlag | VDE Verlag |
| Seiten | 211 - 214 |