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DOI: 10.5445/KSP/1000043064
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Entwicklung eines Röntgenmikroskops für Photonenenergien von 15 keV bis 30 keV

Marschall, Felix

Abstract:
Röntgenstrahlung wird in vielen Forschungsbereichen als Analysewerkzeug eingesetzt. Durch die Verwendung abbildender Linsen kann in der Röntgenvollfeldmikroskopie unabhängig von den Quelleigenschaften eine hohe Auflösung erreicht werden. Mit einer Objektivlinse mit 100 mm Brennweite kann bei 30 keV eine theoretische Auflösung von 60 nm erreicht werden. In Experimenten ist bei 17,4 keV und 30 keV bereits eine Auflösung von 200 nm über ein Bildfeld von 80 µm × 80 µm nachgewiesen worden.

Abstract (englisch):
In many research areas X-rays are used for analysis. In X-ray full field microscopy a high resolution is achievable independent of the source properties by using imaging lenses. With an objective lens with 100 mm focal length a theoretical resolution of 60nm is achievable at 30 keV. In Experiments a resolution of 200 nm for a field of view of 80 µm × 80 µm has been verified at 17.4 keV and 30 keV.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2014
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-7315-0263-0
ISSN: 1869-5183
URN: urn:nbn:de:0072-430648
KITopen ID: 1000043064
Verlag KIT Scientific Publishing, Karlsruhe
Umfang IX, 126 S.
Serie Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 26
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 30.07.2014
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
Schlagworte Röntgenmikroskopie, Vollfeldmikroskopie, refraktive Linse, Mikrostrukturtechnik, Optik X-ray microscopy, full-field-microscopy, refractive lens, microstructure technology, optics
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