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LIGA-mold inserts for industrial use

Heneka, J.; Guttmann, M.; Hanemann, T.; Plewa, K.; Saile, V.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000043308
HGF-Programm 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication
Erschienen in 7th International Conference on Micromanufacturing (ICOMM'12), Evanston, Illinois/USA, March 12-14, 2012
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