| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-933339-20-1 KITopen-ID: 1000043310 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | Actuator 2012 - International Conference and Exhibition on New Actuators and Drive Systems, Bremen, June 18-20, 2012. Ed.: H. Borgmann |
| Verlag | Messe Bremen |
| Seiten | 510-513 |