Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2012 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-3-933339-20-1 KITopen-ID: 1000043310 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Erschienen in | Actuator 2012 - International Conference and Exhibition on New Actuators and Drive Systems, Bremen, June 18-20, 2012. Ed.: H. Borgmann |
Verlag | Messe Bremen |
Seiten | 510-513 |