Nanothermoforming of hierarchical optical components utilizing shape memory polymers as active molds

Schneider, Norbert ¹; Zeiger, Claudia ¹; Kolew, Alexander ¹; Schneider, Marc ¹; Leuthold, Juerg ¹; Hölscher, Hendrik

¹; Worgull, Matthias ¹
¹ Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

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DOI: 10.5445/IR/1000043634

Originalveröffentlichung
DOI: 10.1364/OME.4.001895

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2014
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 2159-3930 urn:nbn:de:swb:90-436341 KITopen-ID: 1000043634
HGF-Programm	43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring
Erschienen in	Optical materials express
Verlag	Optica Publishing Group (OSA)
Band	4
Heft	9
Seiten	1895-1902
Bemerkung zur Veröffentlichung	Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds
Nachgewiesen in	OpenAlex Web of Science Scopus Dimensions