Three-dimensional two-photon lithography: An enabling technology for photonic wire bonding and multi-chip integration
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-8194-9883-0 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000044827 |
| Erschienen in | Laser 3D Manufacturing; San Francisco, CA; United States; 5 February 2014 through 6 February 2014 [Konferenz] |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | 897008 |
| Serie | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering ; 8970 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |