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Piezoresistive effect in SiOC ceramics for integrated pressure sensors

Riedel, R.; Toma, L.; Janssen, E.; Nuffer, J.; Melz, T.; Hanselka, H.


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1111/j.1551-2916.2009.03496.x
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Zugehörige Institution(en) am KIT Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0002-7820
KITopen-ID: 1000045698
Erschienen in Journal of the American Ceramic Society
Verlag American Ceramic Society
Band 93
Heft 4
Seiten 920-924
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