Zugehörige Institution(en) am KIT | Physikalisches Institut (PHI) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754, 2327-9877 KITopen-ID: 1000046822 |
Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / B |
Verlag | American Vacuum Society |
Band | 33 |
Heft | 1 |
Seiten | 013201 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science |