Enhanced positioning precision and in situ macroscopic contacts for shadow-evaporated nanostructures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Physikalisches Institut (PHI) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754, 2327-9877 KITopen-ID: 1000046822 |
| Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / B |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 33 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 013201 |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Dimensions |