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Enhanced positioning precision and in situ macroscopic contacts for shadow-evaporated nanostructures

Stoeffler, Dominik; Hoffmann-Vogel, Regina



Zugehörige Institution(en) am KIT Physikalisches Institut (PHI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1071-1023
KITopen ID: 1000046822
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology B
Band 33
Heft 1
Seiten 013201
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