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Enhanced positioning precision and in situ macroscopic contacts for shadow-evaporated nanostructures

Stoeffler, Dominik 1; Hoffmann-Vogel, Regina 1
1 Physikalisches Institut (PHI), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.4905092
Dimensions
Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Physikalisches Institut (PHI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754, 2327-9877
KITopen-ID: 1000046822
Erschienen in Journal of vacuum science & technology / B
Verlag American Vacuum Society
Band 33
Heft 1
Seiten 013201
Nachgewiesen in Dimensions
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