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DOI: 10.5445/IR/1000047089

Funktionelle PVD-Viellagenschichten aus den Systemen Fe-Co-Hf-N, Ti-N und Ti-Al-N für die Hochfrequenz-Sensorik

Krüger, Kathrin

Abstract:
In dieser Arbeit wurden Verschleißschutzschichten mit integrierter Sensorfunktionalität zur berührungslosen Erfassung von Änderungen der Schichteigenschaften in Echtzeit mittels elektromagnetischer Wechselfelder entwickelt. Dazu wurden Viellagenschichten mit einstellbaren Eigenschaftsprofilen bestehend aus TiN Hartstoff- und ferromagnetischen FeCoHfN Funktionslagen hergestellt und die Sensorfunktionalität in Hinblick auf Dehnung, Temperaturänderung und Materialabtrag charakterisiert.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2015
Sprache Deutsch
Identifikator URN: urn:nbn:de:swb:90-470893
KITopen ID: 1000047089
HGF-Programm 43.22.01; LK 01
Verlag Karlsruhe
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Prüfungsdaten 26.02.2015
Prüfungsdatum 26.02.2015
Referent/Betreuer PD Dr. S. Ulrich
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