| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Entrepreneurship, Technologiemanagement und Innovation (ENTECHNON) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 3-7723-7040-3 KITopen-ID: 1000047383 |
| Erschienen in | Micro System Technologies 2005 - International Conference & Exhibition on Micro-, Electro-Mechanical, Opto & Nano Systems, München, October 5 - 6, 2005. Ed.: H. Reichl |
| Verlag | Franzis |
| Seiten | 420-427 |