| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2160-3308 urn:nbn:de:swb:90-482947 KITopen-ID: 1000048294 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Physical review / X |
| Verlag | American Physical Society (APS) |
| Band | 5 |
| Seiten | 021030/1-7 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex Web of Science |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |