Novel ionic liquid - Polymer composite and an approach for its patterning by conventional photolithography
Bakhtina, N. A.; Voigt, A.; Mackinnon, N.
; Ahrens, G.; Gruetzner, G.; Korvink, J. G.
; Ahrens, G.; Gruetzner, G.; Korvink, J. G.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1084-6999 KITopen-ID: 1000048894 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2015; Estoril; Portugal; 18 January 2015 through 22 January 2015 |
| Seiten | 97-101 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |