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Novel ionic liquid - Polymer composite and an approach for its patterning by conventional photolithography

Bakhtina, N. A.; Voigt, A.; Mackinnon, N. ORCID iD icon; Ahrens, G.; Gruetzner, G.; Korvink, J. G.


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/MEMSYS.2015.7050895
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Zitationen: 1
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Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1084-6999
KITopen-ID: 1000048894
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design
Erschienen in 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2015; Estoril; Portugal; 18 January 2015 through 22 January 2015
Seiten 97-101
Nachgewiesen in Scopus
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