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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/MEMSYS.2015.7050895
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Zitationen: 1

Novel ionic liquid - Polymer composite and an approach for its patterning by conventional photolithography

Bakhtina, N.A.; Voigt, A.; Mackinnon, N.; Ahrens, G.; Gruetzner, G.; Korvink, J.G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1084-6999
KITopen ID: 1000048894
Erschienen in 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2015; Estoril; Portugal; 18 January 2015 through 22 January 2015
Seiten 97-101
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