| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0026-2714 KITopen-ID: 1000048895 |
| Erschienen in | Microelectronics Reliability |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 55 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 747-757 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Web of Science Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |