| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4799-4789-8 KITopen-ID: 1000048905 |
| Erschienen in | 15th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE 2014) : Ghent, Belgium, 7 - 9 April 2014. Ed.: G. Q. Zhang |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 435-439 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |