Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2014 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4799-4789-8 KITopen-ID: 1000048905 |
Erschienen in | 15th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE 2014) : Ghent, Belgium, 7 - 9 April 2014. Ed.: G. Q. Zhang |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 435-439 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |