| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen-ID: 1000048906 |
| Erschienen in | Journal of micromechanics and microengineering |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 24 |
| Heft | 3 |
| Seiten | Art.Nr. 034004 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Web of Science Scopus Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |