Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2014 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0960-1317 KITopen-ID: 1000048907 |
Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 24 |
Heft | 4 |
Seiten | Art.Nr. 045021 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |