Water-soluble sacrificial layer enables ultra low-cost LOC integration of magnetic resonance microcoils with 100% filling factor
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4673-5982-5 KITopen-ID: 1000048918 |
| Erschienen in | Transducers & Eurosensors XXVII : the 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems ; Barcelona, Spain, 16 - 20 June 2013 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 132-134 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |