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Water-soluble sacrificial layer enables ultra low-cost LOC integration of magnetic resonance microcoils with 100% filling factor

Gruschke, O.G.; Kamberger, R.; Hofflin, J.; Korvink, J.G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/Transducers.2013.6626719
ISBN: 978-1-4673-5982-5
KITopen ID: 1000048918
Erschienen in Transducers & Eurosensors XXVII : the 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems ; Barcelona, Spain, 16 - 20 June 2013
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 132-134
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