| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4673-6138-5 KITopen-ID: 1000048925 |
| Erschienen in | 14th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE 2013) : Wroclaw, Poland, 14 - 17 April 2013 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 6529939 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |