Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2013 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4673-6138-5 KITopen-ID: 1000048925 |
Erschienen in | 14th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE 2013) : Wroclaw, Poland, 14 - 17 April 2013 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 6529939 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |