Processing of 3D multilevel SU-8 fluidic network assisted by PerMX dry-photoresist lamination
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4673-1124-3 KITopen-ID: 1000048936 |
| Erschienen in | 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2012, 5 - 8 March 2012, Kyoto, Japan |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 308-311 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |