Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2012 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4673-1122-9 KITopen-ID: 1000048938 |
Erschienen in | 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2012, 5 - 8 March 2012, Kyoto, Japan |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 312-317 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |