Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2012 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4673-1122-9 KITopen-ID: 1000048939 |
Erschienen in | 2012 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS 2012) : Kyoto, Japan, 5 - 8 March 2012 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 304-307 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |