| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000048942 |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 18 |
| Heft | 4 |
| Seiten | 523-530 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Dimensions Web of Science |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |