Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2012 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000048942 |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Verlag | Springer |
Band | 18 |
Heft | 4 |
Seiten | 523-530 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |