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Complex three-dimensional high aspect ratio microfluidic network manufactured in combined PerMX dry-resist and SU-8 technology

Meier, Robert Ch.; Badilita, Vlad; Brunne, Jens; Wallrabe, Ulrike; Korvink, Jan G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1063/1.3613668
ISSN: 1932-1058
KITopen ID: 1000048957
Erschienen in Biomicrofluidics
Band 5
Heft 3
Seiten Art.Nr. 034111
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