| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4577-0157-3 KITopen-ID: 1000048960 |
| Erschienen in | 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference (TRANSDUCERS 2011) : Beijing, China, 5 - 9 June 2011 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 962-965 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Dimensions |