Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4577-0157-3 KITopen-ID: 1000048960 |
Erschienen in | 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference (TRANSDUCERS 2011) : Beijing, China, 5 - 9 June 2011 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 962-965 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |