| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4577-0157-3 KITopen-ID: 1000048961 |
| Erschienen in | 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 5 - 9 June 2011, Beijing, China |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 2798-2800 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |