Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4577-0157-3 KITopen-ID: 1000048961 |
Erschienen in | 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 5 - 9 June 2011, Beijing, China |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 2798-2800 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |