Design issues in electrostatic microplate actuators: Device stability and post pull-in behaviour
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4577-0107-8 KITopen-ID: 1000048968 |
| Erschienen in | 12th international thermal, mechanical and multi-physics simulation and experiments in microelectronics and microsystems (EuroSimE 2011) : [conference] ; Linz, Austria, 18 - 20 April 2011 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 1-6 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |