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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/ESIME.2011.5765843

Design issues in electrostatic microplate actuators: Device stability and post pull-in behaviour

Bertarelli, E.; Ardito, R.; Greiner, A.; Korvink, J.G.; Corigliano, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-4577-0107-8
KITopen ID: 1000048968
Erschienen in 12th international thermal, mechanical and multi-physics simulation and experiments in microelectronics and microsystems (EuroSimE 2011) : [conference] ; Linz, Austria, 18 - 20 April 2011
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 1-6
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