Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4244-9632-7 ISSN: 1084-6999 KITopen-ID: 1000048970 |
Erschienen in | Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Cancun, Mexico 23 - 27 January 2011. Vol. 2 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 809-812 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |