| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 10577157 KITopen-ID: 1000048972 |
| Erschienen in | Journal of Microelectromechanical Systems |
| Verlag | IEEE Electron Devices Society |
| Band | 20 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 466-475 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Dimensions Web of Science |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |