Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 10577157 KITopen-ID: 1000048972 |
Erschienen in | Journal of Microelectromechanical Systems |
Verlag | IEEE Electron Devices Society |
Band | 20 |
Heft | 2 |
Seiten | 466-475 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |